Tagasi

ISO 14706:2014

Surface chemical analysis -- Determination of surface elemental contamination on silicon wafers by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy

Üldinfo

Kehtiv alates 25.07.2014
Tegevusala (ICS grupid)
71.040.40 Keemiline analüüs
Direktiivid või määrused
puuduvad

Standardi ajalugu

Staatus
Kuupäev
Tüüp
Nimetus
25.07.2014
Põhitekst
ISO 14706:2014
Põhitekst
ISO 14706:2000
ISO 14706:2014 specifies a TXRF method for the measurement of the atomic surface density of elemental contamination on chemomechanically polished or epitaxial silicon wafer surfaces. The method is applicable to the following: elements of atomic number from 16 (S) to 92 (U); contamination elements with atomic surface densities from 1 � 1010 atoms/cm2 to 1 � 1014 atoms/cm2; contamination elements with atomic surface densities from 5 � 108 atoms/cm2 to 5 � 1012 atoms/cm2 using a VPD (vapour-phase decomposition) specimen preparation method.

Nõutud väljad on tähistatud *

*
*
*
PDF
169,14 € koos KM-ga
Paber
169,14 € koos KM-ga
Standardi monitooring
Inglise (PDF 784 KB)

Seotud tooted

Põhitekst

EVS-EN 15964:2011

Breath alcohol test devices other than single use devices - Requirements and test methods
Uusim versioon Kehtiv alates 05.04.2011
Põhitekst

EVS-EN 16640:2017

Bio-based products - Bio-based carbon content - Determination of the bio-based carbon content using the radiocarbon method
Uusim versioon Kehtiv alates 02.03.2017
Põhitekst

EVS-EN 16785-1:2015

Bio-based products - Bio-based content - Part 1: Determination of the bio-based content using the radiocarbon analysis and elemental analysis
Uusim versioon Kehtiv alates 05.01.2016
Põhitekst

EVS-EN 15137:2006

Toiduga kokkupuutuvad materjalid ja esemed. Epoksiidi derivaadid, mille kasutamist tuleb piirata. NOGE ja selle vesinikku ja kloori sisaldavate derivaatide määramine
Uusim versioon Kehtiv alates 05.05.2006

Standardite lühendid

EVS Eesti standard
EN Euroopa standard (avaldatud Euroopa standardimisorganisatsioonide CEN või CENELEC poolt)
EN ISO Euroopa standardina avaldatud Rahvusvahelise Standardimisorganisatsiooni standard
ISO Rahvusvahelise Standardimisorganisatsiooni standard
IEC Rahvusvahelise Elektrotehnika Komisjoni standard
HD Euroopa Elektrotehnika Standardimiskomitee harmoneerimisdokument
   
EVS-EN Euroopa standard avaldatud Eesti standardina
EVS-EN ISO Euroopa standardina ülevõetud Rahvusvahelise Standardimisorganisatsiooni standard ja avaldatud Eesti standardina
EVS-EN ISO/IEC Euroopa standardina ülevõetud Rahvusvahelise Standardimisorganisatsiooni standard/Rahvusvahelise Elektrotehnika Komisjoni standard avaldatud Eesti standardina
EVS-IEC Rahvusvahelise Elektrotehnika Komisjoni standard avaldatud Eesti standardina
EVS-ISO Rahvusvaheline standard avaldatud Eesti standardina
   
A, AMD muudatus
+A standardi tekst ja muudatus
/A ainult muudatus
COR, AC parandus
+COR Standardi tekst ja parandus
NA rahvuslik lisa
+NA standardi tekst ja rahvuslik lisa
/NA ainult rahvuslik lisa
TS tehniline spetsifikatsioon
TR tehniline aruanne
CWA CENi või CENELECi töörühma kokkulepe
prEVS-EN (jne) standardi kavand
   
et standard on eesti keeles
en standard on inglise keeles
et-en standard on paralleeltekstina eesti-inglise keeles