Skip to main content
Tagasi

ISO 14706:2000

Surface chemical analysis -- Determination of surface elemental contamination on silicon wafers by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy

Üldinfo

Kehtetu alates 25.07.2014
Tegevusala (ICS grupid)
71.040.40 Keemiline analüüs
Direktiivid või määrused
puuduvad

Standardi ajalugu

Staatus
Kuupäev
Tüüp
Nimetus
25.07.2014
Põhitekst
Põhitekst

Nõutud väljad on tähistatud *

*
*
*
PDF
169,14 € koos KM-ga
Paber
169,14 € koos KM-ga
Standardi monitooring