Tagasi

ISO 17560:2002

Surface chemical analysis -- Secondary-ion mass spectrometry -- Method for depth profiling of boron in silicon

Üldinfo

Kehtetu alates 10.09.2014
Tegevusala (ICS grupid)
71.040.40 Keemiline analüüs
Direktiivid või määrused
puuduvad

Standardi ajalugu

Staatus
Kuupäev
Tüüp
Nimetus
10.09.2014
Põhitekst
ISO 17560:2014
Põhitekst
ISO 17560:2002
ISO 17560:2002 specifies a secondary-ion mass spectrometric method using magnetic-sector or quadrupole mass spectrometers for depth profiling of boron in silicon, and using stylus profilometry or optical interferometry for depth scale calibration. This method is applicable to single-crystal, poly-crystal or amorphous-silicon specimens with boron atomic concentrations between 1×1016 atoms/cm3 and 1×1020 atoms/cm3, and to crater depths of 50 nm or deeper.

Nõutud väljad on tähistatud *

*
*
*
PDF
82,61 € koos KM-ga
Paber
82,61 € koos KM-ga
Standardi monitooring
Inglise (PDF 128 KB)

Seotud tooted

Põhitekst

ISO 17560:2014

Surface chemical analysis -- Secondary-ion mass spectrometry -- Method for depth profiling of boron in silicon
Uusim versioon Kehtiv alates 10.09.2014
Põhitekst

EVS-EN 16640:2017

Bio-based products - Bio-based carbon content - Determination of the bio-based carbon content using the radiocarbon method
Uusim versioon Kehtiv alates 02.03.2017
Põhitekst

EVS-EN 16785-1:2015

Bio-based products - Bio-based content - Part 1: Determination of the bio-based content using the radiocarbon analysis and elemental analysis
Uusim versioon Kehtiv alates 05.01.2016
Põhitekst

EVS-EN 15964:2011

Breath alcohol test devices other than single use devices - Requirements and test methods
Uusim versioon Kehtiv alates 05.04.2011

Standardite lühendid

EVS Eesti standard
EN Euroopa standard (avaldatud Euroopa standardimisorganisatsioonide CEN või CENELEC poolt)
EN ISO Euroopa standardina avaldatud Rahvusvahelise Standardimisorganisatsiooni standard
ISO Rahvusvahelise Standardimisorganisatsiooni standard
IEC Rahvusvahelise Elektrotehnika Komisjoni standard
HD Euroopa Elektrotehnika Standardimiskomitee harmoneerimisdokument
   
EVS-EN Euroopa standard avaldatud Eesti standardina
EVS-EN ISO Euroopa standardina ülevõetud Rahvusvahelise Standardimisorganisatsiooni standard ja avaldatud Eesti standardina
EVS-EN ISO/IEC Euroopa standardina ülevõetud Rahvusvahelise Standardimisorganisatsiooni standard/Rahvusvahelise Elektrotehnika Komisjoni standard avaldatud Eesti standardina
EVS-IEC Rahvusvahelise Elektrotehnika Komisjoni standard avaldatud Eesti standardina
EVS-ISO Rahvusvaheline standard avaldatud Eesti standardina
   
A, AMD muudatus
+A standardi tekst ja muudatus
/A ainult muudatus
COR, AC parandus
+COR Standardi tekst ja parandus
NA rahvuslik lisa
+NA standardi tekst ja rahvuslik lisa
/NA ainult rahvuslik lisa
TS tehniline spetsifikatsioon
TR tehniline aruanne
CWA CENi või CENELECi töörühma kokkulepe
prEVS-EN (jne) standardi kavand
   
et standard on eesti keeles
en standard on inglise keeles
et-en standard on paralleeltekstina eesti-inglise keeles