Skip to main content
Tagasi

EVS-EN 62047-1:2016

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 1: Terms and definitions

Üldinfo

Kehtiv alates 03.05.2016
Alusdokumendid
IEC 62047-1:2016; EN 62047-1:2016
Tegevusala (ICS grupid)
31.080.99 Muud pooljuhtseadised
Direktiivid või määrused
puuduvad

Standardi ajalugu

Staatus
Kuupäev
Tüüp
Nimetus
03.05.2016
Põhitekst
06.10.2006
Põhitekst
IEC 62047-1:2016 defines terms for micro-electromechanical devices including the process of production of such devices.
This edition includes the following significant technical changes with respect to the previous edition:
a) removal of ten terms;
b) revision of twelve terms;
c) addition of sixteen new terms.

Nõutud väljad on tähistatud *

*
*
*
PDF
24,40 € koos KM-ga
Paber
24,40 € koos KM-ga
Sirvi standardit alates 2,44 € koos KM-ga
Standardi monitooring

Teised on ostnud veel

Põhitekst

EVS-EN 62047-10:2011

Semiconductor devices - Microelectromechanical devices - Part 10: Micro-pillar compression test for MEMS materials
Uusim versioon Kehtiv alates 04.10.2011
Põhitekst

EVS-EN 62047-2:2006

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices -- Part 2: Tensile testing methods of thin film materials
Uusim versioon Kehtiv alates 06.11.2006
Põhitekst

EVS-EN 62047-3:2006

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices -- Part 3: Thin film standard test piece for tensile-testing
Uusim versioon Kehtiv alates 06.11.2006
Põhitekst

EVS-EN 62047-6:2010

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices -- Part 6: Axial fatigue testing methods of thin film materials
Uusim versioon Kehtiv alates 06.05.2010